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真空泵工作原理

什么是真空泵,真空泵的工作原理

Time:2018-05-14 14:50:00      Author:煙臺(tái)沃爾姆真空技術(shù)有限公司

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什么是真空泵

真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。

真空泵可以定義為:操縱機(jī)器、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方式對(duì)被抽容器舉行抽氣而的到真空的器件或配置。隨著真空應(yīng)用的生長(zhǎng),真空泵的種類(lèi)已生長(zhǎng)了很多種,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到十-1二Pa以上的超高真空范圍。由于真空應(yīng)用部分所涉及的事變壓力的范圍很寬,因此任何一種范例的真空泵都小概完全實(shí)用于全部的事變壓力范圍,只可以根據(jù)不同的事變壓力范圍和不同的事變要求,利用不同范例的真空泵。為了利用方便和種種真空工藝進(jìn)程的必要,偶爾將種種真空泵按其性可以要求組合起來(lái),以機(jī)組型式應(yīng)用即:真空機(jī)組

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、羅茨泵和將多種真空泵組合起來(lái)以機(jī)組型式應(yīng)用的真空機(jī)組等,這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái), 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭,同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下,我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

1) 液環(huán)式真空泵:將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏愛(ài)裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把事變液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋變化容吸排氣腔。事變液體通常為水或油,以是亦稱(chēng)為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。

2) 干式真空泵:它是一種泵內(nèi)不消油類(lèi)(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡谩S捎诟墒秸婵毡帽们粌?nèi)不必要事變液體,因此,實(shí)用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)產(chǎn)業(yè)、制藥產(chǎn)業(yè)及食品行業(yè)等必要無(wú)油干凈真空情況的工藝場(chǎng)合。

3) 羅茨真空泵:泵內(nèi)裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持肯定的間隙。

真空泵的工作原理

在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外,主要是在吸氣過(guò)程中,吸氣腔體積增大,真空度降低,將容器內(nèi)氣體吸入泵腔,在排氣過(guò)程中體積變小,壓強(qiáng)增大,最終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。


☆參考文獻(xiàn):

百度百科:真空泵


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